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合肥科晶 900℃小型RTP爐

簡要描述:

合肥科晶 900℃小型RTP爐
OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有4“ 石英管和真空法蘭

更新時間:2024-12-08

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合肥科晶 900℃小型RTP爐

產(chǎn)品概述:

OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有4" 石英管和真空法蘭, 它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片(大達3“)的退火而設(shè)計,采用10KW紅外燈管加熱升溫速度為 50°C/秒. 30 段溫度控制,精度為 +/-1°C. 計算機通過RS485口和控制軟件實時控制爐子和顯示溫度曲線 。

主要特點:

·快速升溫,達50℃/s;快速降溫,大117℃/min。

·超大管徑φ110mm。

·溫度可達900℃。

·法蘭上安裝有滑軌可直接推拉操作。

·開門斷電。

合肥科晶 900℃小型RTP爐 基本參數(shù):

·工作溫度:900℃(<10min);800℃(<30min);600℃(長期)

·升溫速率:室溫~800℃: 50 ℃/s,800℃~900℃: 10℃/s

·降溫速率:60℃/min (<200 mtorr),117℃/min (在一個大氣壓下)

·法蘭:KF-25D型不銹鋼高真空法蘭

·慢降溫速率10℃/min

·加熱區(qū)長度:190mm

·控溫精度:+/-1℃(歐陸表型溫控儀表可達0.1℃)

·加熱元件:8根紅外燈管(每根1.5KW,圖1、2、3)

·熱電偶:可插入式的鎧裝熱電偶,進口K型熱偶, 緊貼在放樣品的AlN片下

·大功率:12KW(>60A 保險)

·設(shè)備電源:AC220V/50HZ 單相

·循環(huán)水流量:0.5 m3/h

·標配流量計量程范圍:16-160 ml/min

尺寸:

·760(L)×330(W)×530(H) mm (法蘭關(guān)閉)

·1200(L)×330(W)×530(H) mm (法蘭打開)

重量:70Kg

認證:所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證。



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